1.引言

集成電路相關技術作為最具發(fā)展前景的技術，已成為世界上最具發(fā)展前景的高科技技術。目前，國家高度重視集成電路的芯片研發(fā)領域，特別是集成電路的芯片研發(fā)領域。

近年來，我國越來越多的科研機構、高校、IC企業(yè)研發(fā)部門逐步關注和從事集成電路的電磁兼容性（IC EMC）研究。目前關于IC EMC國外相關研究起步較早，發(fā)展迅速，形成了相對完善的理論體系和歐洲法國、德國、美國、韓國、日本、新加坡等先進的測試研究設備。國內(nèi)相關IC EMC目前，研究集中在國防科技大學、浙江大學、解放軍信息工程大學、中國科學院微電子研究所等高校，近年來取得了重要成果。

2.電磁敏感度

電磁兼容分為電磁干擾（EMI）和電磁敏感度（EMS）。簡單的說，EMI指影響其他設備正常工作的電磁輻射，EMS指設備抵抗外界電磁輻射干擾的能力。目前，電磁敏感性測試分為傳導、輻射、靜電放電、快速脈沖群、浪涌等多個項目。本文介紹了兩種測試方法。

3.電磁敏感度測試方法

3.1 傳導抗擾度

傳導抗擾性試驗主要分為直接功率注入法和大電流注入法。這里介紹了直接功率注入法。直接功率注入法通過干擾源產(chǎn)生干擾脈沖，通過功率放大器、定向耦合器注入網(wǎng)絡，然后注入測試設備。設備的功能狀態(tài)通過故障判斷來確定注入電壓的大小。測試框圖如圖1所示，圖2為實際設備的配置，具體配置參考IEC62132。

圖1.測試框圖

圖2.測試設備

在測試過程中，要注意盡量按照測試標準進行測試，此外，相關測試板的設計要充分考慮接地設置。

3.2 靜電放電

靜電放電試驗是設備抗擾性試驗的重要工程。目前，靜電放電試驗是設備抗擾性試驗的重要工程。ESD我國研究起步較早，取得了良好的研究成果。ESD相關測試設備太貴，一般小型研究機構不能從事進一步研究，其研究成果主要集中在測試設備齊全的大型研究機構。

目前國際上有關系ESD測試的一般標準IEC61000，規(guī)定了ESD脈沖的幅和上升時間如圖3所示，圖4為標準ESD發(fā)生器模型。

圖3.ESD脈沖波形

圖4.ESD發(fā)生器模型

ESD測試方法簡單，只需將測試探頭壓在測試引腳上，注入脈沖波形即可。在測試過程中，測試人員應全程佩戴接地手鐲，防止人體靜電干擾。